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壓電加速度傳感器敏感芯體的結構形式

發布時間:2020-11-11 08:10人氣:

壓電加速度傳感器的敏感芯體一般由壓電材料和附加質量塊組成,當質量塊受到加速度作用后便轉換成一個與加速度成正比并加載到壓電材料上的力,而壓電材料受力后在其表面產生一個與加速度成正比的電荷信號。壓電材料的特性決定了作用力可以是受正應力也可以是剪應力,壓電材料產生的電荷大小隨作用力的方向以及電荷引出表面的位置而變。根據壓電材料不同的受力方法,壓電加速度傳感器常用敏感芯體的結構一般有以下三種形式:
   1、彎曲變形梁形式:壓電材料受到彎曲變形而產生電荷的結構形式。彎曲變形梁結構可產生比較大的電荷輸出信號,也較容易實現控制阻尼;但因為其測量頻率范圍低,更由于此結構不能排除因溫度變化而極容易產生的信號漂移,所以此結構在壓電型加速度傳感器的設計中很少被采用。
   2、剪切形式:通過對壓電材料施加剪切力而產生電荷的結構形式。從理論上分析在剪切力作用下壓電材料產生的電荷信號受外界干擾的影響甚小,因此剪切結構形式成為最為廣泛使用的加速度傳感器敏感芯體。然而在實際制造過程中,確保剪切敏感芯體的加速度計持有較高和穩定的頻率測量范圍卻是傳感器制造中工藝中最為困難的一個環節。北智BW-Sensor 采用進口記憶金屬材料的緊固件從而保證傳感器具有穩定可靠的諧振頻率和頻率測量范圍。
   3、壓縮形式:壓電材料受到壓縮或拉伸力而產生電荷的結構形式。壓縮式敏感芯體是加速度傳感器中最為傳統的結構形式。其特點是制造簡單方便,能產生較高的自振諧振頻率和較寬的頻率測量范圍。而最大的缺點是不能有效地排除各種干擾對測量信號的影響。
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