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固態硅壓阻壓力傳感器的優點

發布時間:2019-10-29 10:15人氣:

固態硅壓阻壓力傳感器的優點:
(1) 靈敏度高
  硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變片高50~100倍,故相應的傳感器靈敏度很高,一般滿量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求,應用成本相應較低。由于它是一種非機械結構傳感器,因而分辨率極高,國外稱之無限,即主要受限于外界的檢測讀出儀表限制及噪聲干擾限制,一般均可達傳感器滿量程的十萬分之一以下。硅壓阻傳感器在零點附近的低量程段無死區,且線性優良。
(2) 精度高
  由于固態壓阻壓力傳感器的感受,敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現,沒有中間轉換環節,所以不重復性和遲滯誤差極小。同時由于硅單晶本身剛度很大,形變很小,保證了良好的線性,因此綜合靜態精度很高。
(3)體積小、重量輕、動態頻響高
  由于芯體采用集成工藝,又無傳動部件,因此體積小,重量輕。小尺寸芯片加上硅極高的彈性模數,敏感元件的固有頻率很高。在動態應用時,動態精度高,使用頻帶寬,合理選擇設計傳感器外型,使用帶寬可以從零頻至100千赫茲。
(4)溫度系數小
  由于微電子技術的進步,四個應變電阻的一致性可做的很高,加之激光修調技術、計算機自動補償技術的進步,目前硅壓阻傳感器的零位與靈敏度溫度系數已可達10-5/℃數量級,即在壓力傳感器領域已超過溫度系數小的應變式傳感器的水平。
(5)性能穩定、可靠性高
  由于固態壓阻壓力傳感器工作彈性形變低至微應變數量級,彈性薄膜最大位移在亞微米數量級,因而無磨損、無疲勞、無老化。壽命長達107壓力循環次以上。
(6)安全防爆
  由于固態壓阻壓力傳感器低電壓、低電流的低功耗特點,它是本質安全防爆型產品,可廣泛用于各種化工工業檢測控制等領域,具有最優性價比。
(7)適應介質廣
  由于硅的優良化學防腐性能,與硅油的良好可兼容性,使得隔離式結構易于實現,即使非隔離型的壓阻壓力傳感器,也有相當程度的適應各種介質的能力。

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